[RpL 1405] Научно-квалификационный семинар

[Anna Kolbatova]

Уважаемые коллеги, 

На этой неделе 19 марта (четверг) в 17:00 состоится научно-квалификационный семинар. 

На семинаре выступит Лубенченко Ольга Игоревна, НИУ «МЭИ». 

Название диссертации: Послойный анализ ультратонких бинарных плёнок с субнанометровым разрешением методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. 

Аннотация: 
Для получения информации о поверхности и послойном составе ультратонких плёнок на нанометровом уровне требуются методы с высоким (субнанометровым) разрешением. Одним из неразрушающих методов анализа поверхности является рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. РФЭС обладает высокой чувствительностью к поверхности и предоставляет информацию об элементном составе, химических фазовых состояниях и их распределении по глубине.  

В работе описан новый метод послойного химического фазового анализа ультратонких плёнок. Создан метод вычитания фона РФЭС, учитывающий многократное неупругое рассеяние фотоэлектронов в многослойной неоднородной среде, повышающий точность расчётов при химическом анализе поверхности (элементном, количественном, фазовом, послойном). Разработан алгоритм послойного химического фазового анализа, включающий в себя одновременное разложение спектральной линии РФЭС и вычитание фона для многослойных мишеней, позволяет определять послойный химический и фазовый состав металл-нитридных и металл-оксид-нитридных ультратонких плёнок с субнанометровым разрешением. 

Проведён послойный химический фазовый анализ ультратонких плёнок нитрида ниобия, окисленных на воздухе. Определена зависимость толщины и фазового состава оксидного и нитридного слоя от скорости и времени окисления, толщины буферного слоя, на который нанесена плёнка, типа подложки. Атмосферное окисление приводит к формированию слоя с фазой нитрида ниобия, отличающейся от исходной.

Приглашаются все желающие. 

С уважением, 
Анна Колбатова