[RpL 329] Fwd: Re: семинар

[Семёнов Александр]

Уважаемые сотрудники УНРЦ!

В четверг 29 сентября в 17.00 в ауд. 49 состоится получасовой семинар. Докладчик - Виталий Селезнёв, тема семинара -   "Получение сверхмалых размеров в пленке методом электронной литографии и теневого напыления" 

Аннотация к семинару

"Идея предлагаемого метода заключается в увеличении разрешающей
способности электронной литографии с помощью напыления маски из металла
на профиль резиста под углом. Таким образом, можно уменьшить характерные
размеры зазоров, получаемых в резисте, до меньшей величины.
Последующее травление такой области даст меньший размер в пленке, чем мы
могли бы получить при электронной литографии."

Приглашаются все желающие

Семёнов А.