[RpL 1407] Re: Научно-квалификационный семинар

[Anna Kolbatova]

Уважаемые коллеги, 

Напоминаю про сегодняшний научно-квалификационный семинар в 17:00 . 

На семинаре выступит Лубенченко Ольга Игоревна, НИУ «МЭИ». 

Название диссертации: Послойный анализ ультратонких бинарных плёнок с субнанометровым разрешением методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. 

Аннотация: 
Для получения информации о поверхности и послойном составе ультратонких плёнок на нанометровом уровне требуются методы с высоким (субнанометровым) разрешением. Одним из неразрушающих методов анализа поверхности является рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. РФЭС обладает высокой чувствительностью к поверхности и предоставляет информацию об элементном составе, химических фазовых состояниях и их распределении по глубине.  

В работе описан новый метод послойного химического фазового анализа ультратонких плёнок. Создан метод вычитания фона РФЭС, учитывающий многократное неупругое рассеяние фотоэлектронов в многослойной неоднородной среде, повышающий точность расчётов при химическом анализе поверхности (элементном, количественном, фазовом, послойном). Разработан алгоритм послойного химического фазового анализа, включающий в себя одновременное разложение спектральной линии РФЭС и вычитание фона для многослойных мишеней, позволяет определять послойный химический и фазовый состав металл-нитридных и металл-оксид-нитридных ультратонких плёнок с субнанометровым разрешением. 

Проведён послойный химический фазовый анализ ультратонких плёнок нитрида ниобия, окисленных на воздухе. Определена зависимость толщины и фазового состава оксидного и нитридного слоя от скорости и времени окисления, толщины буферного слоя, на который нанесена плёнка, типа подложки. Атмосферное окисление приводит к формированию слоя с фазой нитрида ниобия, отличающейся от исходной.

Приглашаются все желающие. 

С уважением, 
Анна Колбатова

> 19 марта 2026 г., в 16:12, Anna Kolbatova via hi-all <hi-all на lists.rplab.ru> написал(а):
> 
> Уважаемые коллеги, добрый день! 
> 
> Научный семинар переносится на среду 25 марта, время 17:00. 
> 
> С уважением, 
> Анна Колбатова
> 
> 
> 
>> 17 марта 2026 г., в 11:37, Anna Kolbatova via hi-all <hi-all на lists.rplab.ru> написал(а):
>> 
>> Уважаемые коллеги, 
>> 
>> На этой неделе 19 марта (четверг) в 17:00 состоится научно-квалификационный семинар. 
>> 
>> На семинаре выступит Лубенченко Ольга Игоревна, НИУ «МЭИ». 
>> 
>> Название диссертации: Послойный анализ ультратонких бинарных плёнок с субнанометровым разрешением методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. 
>> 
>> Аннотация: 
>> Для получения информации о поверхности и послойном составе ультратонких плёнок на нанометровом уровне требуются методы с высоким (субнанометровым) разрешением. Одним из неразрушающих методов анализа поверхности является рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. РФЭС обладает высокой чувствительностью к поверхности и предоставляет информацию об элементном составе, химических фазовых состояниях и их распределении по глубине.  
>> 
>> В работе описан новый метод послойного химического фазового анализа ультратонких плёнок. Создан метод вычитания фона РФЭС, учитывающий многократное неупругое рассеяние фотоэлектронов в многослойной неоднородной среде, повышающий точность расчётов при химическом анализе поверхности (элементном, количественном, фазовом, послойном). Разработан алгоритм послойного химического фазового анализа, включающий в себя одновременное разложение спектральной линии РФЭС и вычитание фона для многослойных мишеней, позволяет определять послойный химический и фазовый состав металл-нитридных и металл-оксид-нитридных ультратонких плёнок с субнанометровым разрешением. 
>> 
>> Проведён послойный химический фазовый анализ ультратонких плёнок нитрида ниобия, окисленных на воздухе. Определена зависимость толщины и фазового состава оксидного и нитридного слоя от скорости и времени окисления, толщины буферного слоя, на который нанесена плёнка, типа подложки. Атмосферное окисление приводит к формированию слоя с фазой нитрида ниобия, отличающейся от исходной.
>> 
>> Приглашаются все желающие. 
>> 
>> С уважением, 
>> Анна Колбатова
>> ____________________________________________________________________
>> Список рассылки ПРФЛ (http://rplab.ru)
>> Сообщения в рассылку: hi-all на lists.rplab.ru
>> Управление: https://lists.rplab.ru/listinfo/hi-all
>> Отписка/подписка: послать любое сообщение на
>> hi-all-unsubscribe на lists.rplab.ru / hi-all-subscribe на lists.rplab.ru
> 
> ____________________________________________________________________
> Список рассылки ПРФЛ (http://rplab.ru)
> Сообщения в рассылку: hi-all на lists.rplab.ru
> Управление: https://lists.rplab.ru/listinfo/hi-all
> Отписка/подписка: послать любое сообщение на
> hi-all-unsubscribe на lists.rplab.ru / hi-all-subscribe на lists.rplab.ru